(1)普通样品台:样品直径:Ф3角度:7°~ 士90°(可旋转、摆动)

角度:士2°~ ±90°

(2)抛光样品台:样品直径:Ф3

(3)扫描用样品台:样品直径:中28(选配件)

可使用不同靶极材料就地为TEM和SEM样品镀膜(选配件)