主要技术指标夹具压力:200-3500g可调;测高仪精度:1u;.磨抛精度:6英寸晶圆磨抛后TTV士5u;4英寸晶圆磨抛后TTV士3u;3英寸晶圆磨抛后TTV士2u;2英寸晶圆磨抛后TTV士1μ。