苏州铼铂机电科技有限公司
高级会员第2年 参观人数:36984
  • 铼铂机电
    参考报价:电议
    型号:CMP 抛光机
    产地:江苏
    在线咨询
  • 详细介绍:


    主要技术参数: . 双工位,可同时抛光两个8英寸晶圆,定制不同的抛 光头,可兼容6寸、4寸、2寸或更小尺寸晶圆的抛光; .具有定时功能,设定抛光工作时间,到点自动停机; .盘速5-200rpm,缓启缓停,通过触控显示界面设定参数 控制转速,抛光盘具有水冷功能,能精确控制盘温; .配置两个蠕动泵,可精确控制送料均匀度; .抛光头转速0-200rpm可调;摆动幅度±20mm可调,抛 光头通过压缩空气加压,0-5bar可调,根据需要可定制2 区或3区、4区抛光头,不同区位可调节不同压力; .抛光工艺可以储存,工艺可保持一致性和重复性