EVG 6200NT是620NT的增强型，提供先进的掩膜对准技术。可选择半自动或全自动配置，满足大批量生产和Fab标准。

EVG 6200NT是620NT的增强型，提供先进的掩膜对准技术。可选择半自动或全自动配置，满足大批量生产和Fab标准。