产品简介：

EVG 820是一款自动晶圆贴胶膜与对准系统，适用于采用胶带的临时键合与预对准。

主要特点及参数：

·**可适用于12寸（300mm）晶圆

·可作为模组集成于EVG850TB临时键合设备中

·地侧保护膜剥离