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EVG GEMINI晶圆键合系统
报价:面议
品牌: 亚科电子
产地: 北京
关注度: 491
型号: EVG GEMINI晶圆键合系统
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产品介绍


产品简介:

EVG GEMINI是一款全自动多腔室晶圆键合工艺平台,实现了高程度的集成度和自动化,适用于大型量产。

主要特点及参数:

·**支持12英寸(300mm)晶圆

·*多兼容4个键合腔室和6个预处理腔室

·兼容底部对准、红外对准以及SmartView对准

·可选配模块:

低温等离子体活化

晶圆清洗

涂胶模块

UV固化模块

烘烤/冷却模块

对准验证模块


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亚科电子(香港)有限公司为您提供亚科电子EVG GEMINI晶圆键合系统,EVG GEMINI晶圆键合系统产地为北京,属于其它辅助设备,除了EVG GEMINI晶圆键合系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供EVG 610光刻机、EVG 850TB临时键合系统、EVG 620NT光刻机。
工商信息
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亚科电子(香港)有限公司

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