产品简介：

EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统。

主要特点及参数：

·**支持12英寸（300mm）晶圆

·*多兼容4个键合腔室

·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置

·拥有独立的底部冷却系统

产品简介：

EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统。

主要特点及参数：

·**支持12英寸（300mm）晶圆

·*多兼容4个键合腔室

·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置

·拥有独立的底部冷却系统