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全自动单/双面刷洗机
报价:面议
品牌: 苏州辰轩
产地: 江苏
关注度: 473
型号: 全自动单/双面刷洗机
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产品介绍

|  设备概述
       全自动单/双面刷洗机由Loading、Unloading、晶圆机械手、刷洗、甩干单元等单体组成,通过晶圆机械手将晶片由Loading单元转移到刷洗工位,通过毛刷对晶片表面进行药液、二流体、纯水刷洗,清除晶片表面的微小粒子。

 

|  应用领域
       应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)等半导体材料的刷洗,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料。

 

|  设备特点
✦ 晶圆机械手传输晶片过程精度高、稳定性高。
✦ 可兼容2、4、6、8寸晶片的刷洗。
✦ 自动化操作无人工干预,避免二次污染。
✦ 全封闭刷洗环境,避免环境污染。
✦ 双刷洗工位,有效提高生产效率。
✦ 实现干进干出的加工方式。

 

|  可选配置
✦ 兆声波发生器
✦ 湿进干出装置
✦ 翻转装置,实现单面转双面刷洗

 

|  设备参数

型号

CX-S6F

CX-S8F

上料工位

晶片尺寸

4、6寸

6、8寸

数量

2

2

感应装置

包含

包含

传输系统

传输方式

晶圆机械手

晶圆机械手

清洗、甩干单元

数量

2

2

药液喷洒装置

3

3

刷洗方式

PVA毛刷

PVA毛刷

固定方式

卡爪/真空吸附

卡爪/真空吸附

甩干方式

高速旋转

高速旋转

下料工位

数量

2

2

感应装置

包含

包含

控制系统

系统

PLC

PLC

显示

10.4寸彩色触摸屏

10.4寸彩色触摸屏

厂务

电源

AC220V 50Hz

AC220V 50Hz

尺寸

W1230mm * L1850mm * H2050mm

W1230mm * L1850mm *  H2050mm

重量

约700Kg

约700Kg


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工商信息
企业名称

苏州辰轩光电科技有限公司

企业类型

信用代码

91320594551160094Y

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注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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