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全自动单/双面刷洗机
报价:面议
品牌: | 苏州辰轩 |
产地: | 江苏 |
关注度: | 473 |
型号: | 全自动单/双面刷洗机 |
产品介绍
| 设备概述
全自动单/双面刷洗机由Loading、Unloading、晶圆机械手、刷洗、甩干单元等单体组成,通过晶圆机械手将晶片由Loading单元转移到刷洗工位,通过毛刷对晶片表面进行药液、二流体、纯水刷洗,清除晶片表面的微小粒子。
| 应用领域
应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)等半导体材料的刷洗,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料。
| 设备特点
✦ 晶圆机械手传输晶片过程精度高、稳定性高。
✦ 可兼容2、4、6、8寸晶片的刷洗。
✦ 自动化操作无人工干预,避免二次污染。
✦ 全封闭刷洗环境,避免环境污染。
✦ 双刷洗工位,有效提高生产效率。
✦ 实现干进干出的加工方式。
| 可选配置
✦ 兆声波发生器
✦ 湿进干出装置
✦ 翻转装置,实现单面转双面刷洗
| 设备参数
型号 | CX-S6F | CX-S8F | |
上料工位 | 晶片尺寸 | 4、6寸 | 6、8寸 |
数量 | 2 | 2 | |
感应装置 | 包含 | 包含 | |
传输系统 | 传输方式 | 晶圆机械手 | 晶圆机械手 |
清洗、甩干单元 | 数量 | 2 | 2 |
药液喷洒装置 | 3 | 3 | |
刷洗方式 | PVA毛刷 | PVA毛刷 | |
固定方式 | 卡爪/真空吸附 | 卡爪/真空吸附 | |
甩干方式 | 高速旋转 | 高速旋转 | |
下料工位 | 数量 | 2 | 2 |
感应装置 | 包含 | 包含 | |
控制系统 | 系统 | PLC | PLC |
显示 | 10.4寸彩色触摸屏 | 10.4寸彩色触摸屏 | |
厂务 | 电源 | AC220V 50Hz | AC220V 50Hz |
尺寸 | W1230mm * L1850mm * H2050mm | W1230mm * L1850mm * H2050mm | |
重量 | 约700Kg | 约700Kg |
问商家
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工商信息
企业名称
苏州辰轩光电科技有限公司
企业类型
信用代码
91320594551160094Y
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围