|  设备特点
✦ 整体铸造式铸铁机身，高刚性，高稳定性。
✦ 采用高刚性、低振动的主轴，防止加工过程中产生抖动。
✦ 采用独特的上压头、大盘冷却结构，有效控制盘面平整度。
✦ 大盘、上压头采用软启动，防止碎片、崩边和破损。
✦ 实时可视化的加工过程监控。
✦ 在线车刀对研磨盘进行修盘和开槽。
✦ 加工过程中，上压头左右摆动增加研磨轨迹，得到更好的产品平面度。
✦ 分段式压力控制系统。
✦ SECM/GEM、MES系统。