石墨电极

石墨电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器输送电流。因此在电极要厚重，结实耐用、表面要光滑平稳，保证良好的接触面，通电时不打火，石墨电极也是有高纯石墨加工的。

坩埚托杆、坩埚和托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体，要求和下轴结合牢固，对中性良好在下轴进行转动时，托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是可以调节的。