本设备是钙钛矿液涂布-真空-老化一体化设备。采用直线电机驱动载台运动，狭缝式涂布系统上下运动，在载台上的ITO/FTO导电玻璃平板上在一定距离进行精密涂布成形，在涂布后进入真空腔进行快速真空干燥成形钙钛矿膜片。

　　技术要求和参数：

　　1.1 适用基板尺寸：**可放置300mm×300mm的基材，带真空吸附载台；

　　1.2 基板类型：ITO/FTO导电玻璃平板；

　　2.1.1 涂布：日本制高精密产品用不锈钢涂布头；

　　2.1.2  **涂布面积300×300mm；

　　2.1.3 涂头高度可设定范围 0-50mm；

　　2.1.4  Z轴分辨率：0.0001mm；Y轴分辨率：0.001mm

　　2.1.7 采用无接触检测方式，涂头与平台平面的平行度使用千分头设置调整。（可选配电机调整方式）

　　2.1.8  涂头垫片厚度：0.05\0.08\0.1mm(可以定制)

　　2.2.1 供液泵：精密微量泵；

　　2.3.1带有预涂、涂头封合及余液收集功能；

　　平台材料：精密大理石平台；

　　传输装置：Y 轴和Z 轴的自动控制和定位，重复精度≤2μm；

　　平台运动方式：采用无接触的直驱电机驱动，无摩擦，稳定性好。

　　载台采用特种合金材料或大理石；平整度：≤5μm；

　　玻璃基板固定方式：真空吸附；

　　配有涂后真空干燥腔。

　　配有涂后老化加热功能

　　机体结构采用封闭腔体，可隔离挥发气体和控制环境

　　操作系统采用工业控制系统控制；可实现数据采集和统计功能。