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WG-1240 自动减薄机
报价:面议
品牌: 宏华电子
产地: 广东
关注度: 628
型号: WG-1240 自动减薄机
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产品介绍

技术特点:

● 利用粗磨和精磨轨迹重合技术,显著提高了超薄晶圆磨削加工品质的稳定性,可实现 12 英寸晶圆厚度100μm 以下精密减薄;
● 双主轴三工位全自动减薄机,可与单轴抛光机、保护膜处理设备组成联机系统,实现晶圆减薄到去应力技术的一体化;配备自主、优化的 12 英寸超精密空气主轴和气浮载台;具备 SECS/GEM 联网功能。

 

性能指标:

WG-1240自动减薄机
磨削方式通过旋转晶圆,实现纵向/横向切入式磨削
结构方式1根主轴, 1个承片台
磨削尺寸
mmMax.Ø300/Max.Ø200(Φ8″-Φ12″)
主轴主轴数量-1
主轴功率KW5.5
主轴转速rpm1000-6000
Z轴行程mm120
Z轴分辨率µm0.1
承片台装片方式-真空吸附
承片台类型-多孔陶瓷式
转速rpm0-300
数量1
承片台清洗方式-油石手动清洗
承片台Y向Y向加工行程mm400
Y向进刀速度mm/s0.01-50
Y轴快速位移速度mm/s100
Y轴*小分辨率mm0.001
减薄精度片内厚度偏差µm≤4
片间厚度偏差µm≤±4
粗磨Ring环精度mm3±0.15
设备外形尺寸WxD×Hmm860×1847×1741
设备重量kg约1700

 


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肇庆市宏华电子科技有限公司为您提供宏华电子WG-1240 自动减薄机,WG-1240 自动减薄机产地为广东,属于半导体行业专用仪器,除了WG-1240 自动减薄机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供片式电容四测试机、全自动薄膜丝印机.、等静压机.。
工商信息
企业名称

肇庆市宏华电子科技有限公司

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91441200682437428C

法人代表

梁耀国

注册地址

肇庆市端州三路8号内H幢

成立日期

2008-12-02

注册资本

1555.0623万元人民币

有效期限

2008-12-02 至 无固定期限

经营范围

研发、生产、销售:各类电子元器件、电子专用设备、仪器仪表。机电产品、电子材料、机械零部件的加工、销售。计算机技术服务。货物进出口、技术进出口。 (上述项目不含工商登记前置审批事项)(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

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