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WG-8500自动减薄机
报价:面议
品牌: | 宏华电子 |
产地: | 广东 |
关注度: | 306 |
型号: | WG-8500自动减薄机 |
产品介绍
技术特点:
● 可带框架磨削异形片,**可对应 8 英寸的框架;粗磨精磨轨迹统一,提高加工质量稳定性;
● 双主轴三工位自动减薄机,粗磨精磨磨削同时进行,加工效率大幅度提高;可选配单测头式测量仪和双测头测量仪。
性能指标:
WG-8500自动减薄机 | |||
磨削方式 | 通过旋转晶圆,实现纵向切入式磨削 | ||
结构方式 | 1根主轴, 3个承片台,1回转工作台 | ||
磨削尺寸 | mm | Max.Ø200(Φ4″-Φ8″) | |
磨轮直径 | mm | Φ200 | |
主轴 | 主轴数量 | - | 2 |
主轴功率 | KW | 4.2/5.5 | |
主轴转速 | rpm | 1000-6000 | |
Z轴行程 | mm | 120 | |
Z轴分辨率 | µm | 0.1 | |
承片台 | 装片方式 | - | 真空吸附 |
承片台类型 | - | 多孔陶瓷式(6/8寸兼容) | |
转速 | rpm | 0-300 | |
承片台数量 | 套 | 3 | |
减薄精度 | 片内厚度偏差 | µm | ≤3 |
片间厚度偏差 | µm | ≤±3 | |
表面粗糙度斤 | µm | ≤3(#30000 wheel,SiC) | |
测量仪 | 测量范围 | µm | 0-1800(选配) |
分辨率 | µm | 0.1(选配) | |
重复精度 | µm | ±0.5(选配) | |
设备 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1200×1800×1950 |
设备重量 | kg | 约3300 |
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工商信息
企业名称
肇庆市宏华电子科技有限公司
企业类型
信用代码
91441200682437428C
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围