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WG-8500自动减薄机
报价:面议
品牌: 宏华电子
产地: 广东
关注度: 306
型号: WG-8500自动减薄机
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产品介绍

技术特点:

● 可带框架磨削异形片,**可对应 8 英寸的框架;粗磨精磨轨迹统一,提高加工质量稳定性;
● 双主轴三工位自动减薄机,粗磨精磨磨削同时进行,加工效率大幅度提高;可选配单测头式测量仪和双测头测量仪。

 

性能指标:

WG-8500自动减薄机
磨削方式通过旋转晶圆,实现纵向切入式磨削
结构方式1根主轴, 3个承片台,1回转工作台
磨削尺寸
mmMax.Ø200(Φ4″-Φ8″)
磨轮直径
mmΦ200
主轴主轴数量-2
主轴功率KW4.2/5.5
主轴转速rpm1000-6000
Z轴行程mm120
Z轴分辨率µm0.1
承片台装片方式-真空吸附
承片台类型-多孔陶瓷式(6/8寸兼容)
转速rpm0-300
承片台数量3
减薄精度片内厚度偏差µm≤3
片间厚度偏差µm≤±3
表面粗糙度斤µm≤3(#30000 wheel,SiC)
测量仪测量范围µm0-1800(选配)
分辨率µm0.1(选配)
重复精度µm±0.5(选配)
设备外形尺寸WxD×Hmm1200×1800×1950
设备重量kg约3300

 


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工商信息
企业名称

肇庆市宏华电子科技有限公司

企业类型

信用代码

91441200682437428C

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