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WG-1261全自动减薄机
报价:面议
品牌: | 宏华电子 |
产地: | 广东 |
关注度: | 346 |
型号: | WG-1261全自动减薄机 |
产品介绍
技术特点:
●磨轮直径 Φ300mm,**减薄速率 0.9μm/s, 单片磨削时间< 5 分钟。选择高功率高扭矩主轴,可实现高效率、高精度、无损伤镜面加工;
●双主轴三工位全自动减薄机,配有在线测量仪单元(测量范围 0-1800μm),精确控制减薄厚度;具备 SECS/GEM 联网功能。配置 SMIF(选配),保持高清洁度的同时稳定减薄。
性能指标:
WG-1250自动减薄机 | |||
磨削方式 | 通过旋转晶圆,实现纵向切入式磨削 | ||
结构方式 | 1根主轴, 3个承片台,1回转工作台 | ||
磨削尺寸 | mm | Max.Ø200(Φ6″-Φ8″) | |
磨轮直径 | mm | Φ300 | |
主轴 | 主轴数量 | - | 2 |
主轴功率 | KW | 7.5 | |
主轴转速 | rpm | 1000-4000 | |
Z轴行程 | mm | 120 | |
Z轴分辨率 | µm | 0.1 | |
承片台 | 装片方式 | - | 真空吸附 |
承片台类型 | - | 多孔陶瓷式(6/8寸兼容) | |
转速 | rpm | 0-300 | |
承片台数量 | 套 | 3 | |
承片台清洗方式 | - | 油石手动清洗 | |
减薄精度 | 片内厚度偏差 | µm | ≤2 |
片间厚度偏差 | µm | ≤±2 | |
表面粗糙度斤 | nm | ≤3(#30000 wheel,SiC) | |
设备 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1445×3330×1895 |
设备重量 | kg | 4700 |
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工商信息
企业名称
肇庆市宏华电子科技有限公司
企业类型
信用代码
91441200682437428C
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围