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WG-1250自动减薄机
报价:面议
品牌: 宏华电子
产地: 广东
关注度: 657
型号: WG-1250自动减薄机
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产品介绍

技术特点:

● 可加工碳化硅晶锭(**厚度 5000mm)、带框架的异形片及非标准的4/6/8寸SiC晶片;磨轮直径 Φ300mm,**减薄速率 0.9μm/s, 单片磨削时间< 5 分钟;
● 单主轴单工位自动减薄机,在线测量方式(测量范围0-1800μm)/ 离线测量方式(测量范围 0-50000μm)可选;通过手动进行上片、卸片操作和油石手动清洗承片台。

 

性能指标:

WG-1250自动减薄机
磨削方式In-feed grinding with wafer rotation通过旋转晶圆,实现纵向切入式磨削
结构方式1根主轴, 3个承片台,1回转工作台
磨削尺寸
mmMax.Ø200(Φ4″-Φ8″)
磨轮直径
mmΦ300
主轴类型-高频电机内装式空气主轴
主轴数量-2
定额功率KW7.5
主轴转速mm1000-4000
Z轴分辨率µm0.1
承片台装片方式-真空吸附
承片台类型-多孔陶瓷式
转速rpm0-300
承片台数量3
承片台清洗方式-油石手动清洗
减薄精度片内厚度偏差µm≤2
片间厚度偏差µm≤±2
表面粗糙度Ranm≤3(#30000 wheel,SiC)
设备外形尺寸WxD×Hmm1446×1860×1875
设备重量kg3800

 


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肇庆市宏华电子科技有限公司为您提供宏华电子WG-1250自动减薄机,WG-1250自动减薄机产地为广东,属于半导体行业专用仪器,除了WG-1250自动减薄机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供片式电容四测试机、全自动薄膜丝印机.、等静压机.。
工商信息
企业名称

肇庆市宏华电子科技有限公司

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91441200682437428C

法人代表

梁耀国

注册地址

肇庆市端州三路8号内H幢

成立日期

2008-12-02

注册资本

1555.0623万元人民币

有效期限

2008-12-02 至 无固定期限

经营范围

研发、生产、销售:各类电子元器件、电子专用设备、仪器仪表。机电产品、电子材料、机械零部件的加工、销售。计算机技术服务。货物进出口、技术进出口。 (上述项目不含工商登记前置审批事项)(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

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