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团簇式OLED真空蒸镀工艺装备
报价:面议
品牌: 鹏城半导体
产地: 广东
关注度: 588
型号: 团簇式OLED真空蒸镀工艺装备
核心参数

仪器原理:其他

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产品介绍

团簇式OLED真空蒸镀工艺装备是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”,是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线) 和G2.5(2.5代线)的研发设计和生产制造。

项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题(如:源炉技术、精准对位技术(对位精度达到1.5μm)、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等)。

公司可对外承接OLED的G1和 G2.5工艺线的设计制造。


技术指标

 指标参数 
 对位精度 CCD精密对位≤1.5 υm,机械对位≤150 υm
 膜厚均匀性和重复 ±2%
 总体技术路线 采用Cluster方案
 工艺流程 设计-审核-外协-组装-电气安装-调试-出厂


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鹏城半导体技术(深圳)有限公司为您提供鹏城半导体团簇式OLED真空蒸镀工艺装备,团簇式OLED真空蒸镀工艺装备产地为广东,属于其他测试设备,除了团簇式OLED真空蒸镀工艺装备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供分子束外延薄膜生长设备(MBE)、高真空磁控溅射仪、化合物半导体。
工商信息
企业名称

鹏城半导体技术(深圳)有限公司

企业类型

信用代码

91440300MA5H0RXA7M

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