■ 设备参数：
设备型号
DRR15
DRR20
DRR25
扫描范围
54mm×54mm（可定制）
加工幅面
500mm×2000mm
250mm×2000mm×2
（双头）
定位精度
±4μm
重复精度
±3μm
深度控制
≤±5μm
