■ 设备优势

◆ 激光器自制，自主可控

◆ 工艺窗口较广，可兼容其他材料的退火要求

◆ 符合SEMI行业标准

■ 应用领域

      应用于碳化硅晶圆片的背金激光退火（以碳化硅材料为基板的晶圆）。