用于半导体产业的石英仪器，对纯度的要求更为苛刻，微量的杂质将给半导体材料的电机能和寿命以及集成度带来严峻的影响。因为半导体材料的纯度要求控制在ppb数目级以下，因此石英玻璃则应控制在PPm数目级以适应半导体产业的需要。