此机组是由一台罗茨真空泵与

一台螺杆真空泵串联组成。进气口真空可达20-0.01Torr，出口流量范围可达300-8000m3/h。

罗茨真空泵与螺杆真空泵组成的机组操作方便，成本远低于单独的螺杆泵机组的抽速可以远大于单泵的抽速。可以处理大容量压缩蒸汽、可凝气等容积效率高。