西尼特(北京)科技有限公司
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  • 西尼特科技
    参考报价:电议
    型号:高真空CVD系统(单温区)
    产地:北京
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  • 详细介绍:


    CNT高真空CVD系统是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的专用设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。

    产品用途
    产品结构

    高真空CVD系统主要由高温腔体、石英管、石英支架、气路系统、分子泵机组、自动化控制系统、冷却系统等组成。

    高真空CVD系统(单温区)

    1、沉底材料可采用铜箔、石墨等;

    2、生长腔体采用进口高纯石英管,配石英支架、为石墨烯等材料的生长提供洁净环境;

    3、加热腔体采用进口陶瓷纤维加热器,均温区200mm、对开式结构;

    4、密封法兰均采用不锈钢材质,配水冷套,可连续长时间工作;

    5、气路系统采用三路质量流量计(可拓展多路),配预混系统;

    6、真空系统采用分子泵机组;

    7、控制系统采用10寸触摸屏加西门子PLC模块;

    8、可选配RF射频电源模块;

    9、气体种类: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6

    10、温度、气体、真空、冷却水等通过PLC控制,通过PC实时控制和显示相关的实验参数,自动保存实验参数,也可采用手动控制.

    11、系统采用集成化设计,控制系统、混气罐、质量流量计等均内置在箱体内部,占地面积小。整体安装四个可移动轮子,方便整体移动。

    技术参数