光谱薄膜测试仪 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement

应用领域: IC fab， MEMS， LED， solar cell， photonics， nano technologies.

设备特性: Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.

•广泛用于检测各种薄膜的厚度， 包括oxide， nitride， photo resist， metal oxide， ITO.

•膜厚范围可自20nm 到5000nm. 可选各种光谱范围， 自UV 200nm到IR 1700nm.

•可具有高达12”直径自动 mapping 功能，软件功能强大.

技术参数：

光谱薄膜测试仪 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement

应用领域: IC fab， MEMS， LED， solar cell， photonics， nano technologies.

设备特性: Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.

•广泛用于检测各种薄膜的厚度， 包括oxide， nitride， photo resist， metal oxide， ITO.

•膜厚范围可自20nm 到5000nm. 可选各种光谱范围， 自UV 200nm到IR 1700nm.

•可具有高达12”直径自动 mapping 功能，软件功能强大.