HOLITH界面光刻技术----“纳米压印友好伴侣”

HOLITH界面光刻装置使用两束干涉激光在光界面上形成周

期性光栅和点/孔图案。 HOLITH纳米成像系统具有新型力

学，光学和电学设计，可在200nm-2μm的周期性范围内于4

英寸晶片上做出纳米结构图案，图案*小形貌可低50nm。

***的HOLITH**技术可使用户仅通过简单的鼠标点击操

作便能作出100nm以下尺寸的高品质高均一性线性光栅和

2D/3D图像。在HOLITH界面光刻装置中无需使用遮罩和模

具。

优势：

· 无遮罩过程：低成本、多功能、可伸缩

· 计算机系程序自动化光学结构和排列控制

· 简单操作，无需光学培训

· 相比遮罩定位器系统成本更低

· 200nm范围内具有高分辨率

· *低特征尺寸小于50nm

· 无需遮罩及模具

· 可以制作大面积2D/3D纳米压印模具（4/6英寸）

· 可以操作不平整晶片

· 周期精度：<+-2.5%

· All-fiber-optic setup replacing free-

space optical components

· Special optical fiber delivers light from

laser

· Fiber-optic beam splitter splits the

laser beam into two coherent beams

· Output port of the fiber performs

spatial filtering

· Close-loop feedback control stabilizing

interference pattern

低成本、不受环境因素干扰，使自动化成为可能：自由改变入射角度调整模式周期。

Holith 纳米图案化结构

应用：

能源

· 太阳能电池抗反射结构

· 太阳能电池光子操纵

· LEDs灯管中的光提取

· 图案化蓝宝石基板(PSS)

光学器件

· 1-D和2-D光栅光谱

· 大范围等离子体结构

· 光子晶体

· 超颖表面

· 高对比度光栅过滤器和反射器

· 亚波长和衍射光学器件

·计量光栅

·结构化的颜色

材 料

· 超疏水/亲水表面

· 诱导自组装

· 表面增强拉曼荧光

· 生物医学传感器

纳米装配

·纳米压印磨具装配

·先进纳米装配过程开发