KLA Gemini压痕力学测试系统

每时每刻用正确的答案对摩擦学进行突破性的改变

使用KLA公司的Gemini系统探索新命令的准确性，精确度和控制，这是世界上**台用于研究纳米级摩擦学和机械测试动力学的多维仪器。

准确性- Gemini提供****的自由，可以在多个方面探索接触力学，因为它来自Nanomechanics，每次都对正确答案有强烈的信心。

精确度- Gemini的等轴测量轴实现了****的分辨率力范围和动态性能，意味着正常轴和横轴都能提供KLA所期望的精确度。

控制-使用Gemini系统的多轴功能有效地解决了硬度，磨损和粘附问题，Gemini系统是以****的分辨率准确研究摩擦学问题的必不可少的工具。

摩擦学+

单一的粗糙表征， 粘滑滑动 ，超薄膜 ，润滑 ，阻尼 ，各向异性 ，泊松比 ，模数 ，耐刮擦性 ，形貌 ，MEMS测试 ，附着力

准确的多维测量

**个提供等距力位移测量的工具，用于研究硬度，摩擦学，磨损和粘附性。

优越的规格

多维动态性能

宽负载和位移范围：50 mN和50μm

张力或压缩：无过渡

快速时间常数：20μs，具有亚纳米级噪声

电磁激活：低漂移和动态精度

高载荷框架刚度：7e5 N / m

精确的属性测量

亚纳米分辨率的样品阶段补充了致动器，以产生高精度的靶向和压痕测量。

控制横向力

测量准静态和动态模式下的力和位移，采用亚纳米和纳米牛顿分辨率。