KLA-Tencor先进的探针式台阶仪，可精确测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率，是目前商业化仪器里（经市场验证）特别高精度的台阶仪产品。

KLA-Tencor AlphaStep轮廓仪配置自动台，采用了新型光学反射探测系统来测量高度，同时应用电磁力控制探针压力，能有效的实现超微力和低惯量 。这些创新型使表面轮廓仪能够无伤测量软薄膜样品。

P-7探针式轮廓仪可靠的测量性能提供了行业先进的测量重复性。自动样品台，闭环自动移动范围150mmx150mm，是市场上**具有长扫描能力的探针式轮廓仪。UltraLite®传感器包括动力控制、优良的线性度和垂直分辨率，使其成为表面测量系统中抢手的传感器。