功  能

•  用于SiC、GaN等高温退火活化工艺 

•  满足各种真空、气氛高温退火的激活工艺

重要参数

•  **晶圆尺寸：满足6寸以下晶圆工艺要求 

•  **载片量：50片/批 

•  **加热温度：2000℃

装卸片方式

•  立式垂直升降 

•  立式真空密封系统