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产地:日本 在线咨询
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2006年12月一推出,立刻受到高校科研单位欢迎。
国内用户有 南京大学分析中心 上海师范大学 天津46所
技术参数:
3、仪器主机功能与附件功能
3.1 单色化XPS,Al Kα,包括:
大面积XPS、小面积XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。
3.2 双阳极XPS,Mg/Al Kα
3.3 紫外光电子能谱,UPS
3.4 高压反应室
3.5 分析室样品冷/热台
4、仪器主要部件
4.1 超高真空分析室
180度半球能量分析器,
电子透镜传输系统,
16多通道电子检测器
分子泵,离子泵,钛升华泵
单色化XPS (AlKα)系统,含内循环水冷却装置,
XPS成像系统,
双阳极XPS系统,冷却循环水和单色化系统共用
紫外光源,
荷电中和系统,用于绝缘样品或导电性差的样品的荷电补偿,
5轴样品台,
标准样品托 2个
Recessed样品托 1个
氩离子枪,用于深度剖析,
热双灯丝离子规,
闭路电视显微彩色摄像系统和SXI成像系统,
分析室和进样室都有独立光纤照明系统,
可观察视窗,视窗直径10cm左右,
样品热/冷台,温度可监测。
4.2 样品进样室
机械泵,分子泵 热双灯丝离子规,
可观察视窗,视窗直径10cm左右。
空气压缩机一台,国内采购
4.3 石英高压反应池
程序控温系统
真空监测系统
真空泵系统
进出气系统,参考南京大学用户设计建议。
压力 一个大气压
全石英底座
密封材料 Byton O-ring
**温度 600度
远红外线加热控温系统
单独石英反应器冷却系统
4 样品磁耦合传输系统
4.5 真空烘烤系统
4.6 主机系统集成,减震装置。
4.7 计算机系统,含数据采集和数据处理软件包。
4.8 与以上所有系统相关联的电子学控制柜。
5、仪器主要技术参数与要求
5.1 仪器主机功能,单色化Al Kα
5.1.1 大面积XPS
Ag3d5/2,1400umx100um, FWHM≤1.00eV时,灵敏度≥1,000,000 cps。
Ag3d5/2,1400umx100um, FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥250,000 cps。
5.1.2 小面积XPS,*小分析面积≤10μm ,性能指标应达到:
Ag3d5/2,20μm, FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥15,000 cps。
Ag3d5/2,10μm, FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥4,000 cps。
Ag3d5/2,10μm, FWHM≤1.00eV时,灵敏度≥12,000 cps。
Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree
75degree
Ag3d5/2,20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 99kcps
Ag3d5/2,100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 47kcps
45degree
Ag3d5/2,20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 50kcps
Ag3d5/2,100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 27kcps
5.1.3 成像XPS
单色化X射线扫描成像,**空间分辨率≤10 μm。
5.1.4 深度剖析XPS
聚焦扫描氩离子枪,当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑≤150μm,当
working distance为60mm时候,聚焦氩离子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2。
5.2 仪器附件功能
5.2.1 双阳极XPS,MgKα,Ag3d5/2,FWHM≤1.40eV时,灵敏度≥1,000,000 cps。
5.2.2 紫外光电子能谱(UPS)
(a) 光源:He紫外光源,HeI:HeII=3:1
(b) 性能指标:分辨率(Ag费米边)≤120 meV时,灵敏度(Ag4d)≥2,000,000 cps。
(c) *小步长:5meV
5.2.3 高压反应室
(a) 材质:石英
(b) 内胆内压强:≥760Torr
(c) **温度,≥600℃
(d) 气体混合仓附计量装置,包括压力表、流量计和针阀等。
5.2.4 分析室样品冷/热台,温度:170 K–600 K,温度可检测,加热PID控制。
5.3 仪器主要部件参数与要求:
5.3.1 能量分析器
(a) 类型:半球能量分析器
(b) XPS能量范围: 0–1600 eV(25 meV)
UPS :0~320 eV(5 meV)
5.3.2 超高真空分析室
(a) SUS材质内表面经过特殊处理
(b) 真空:小于6.7×10-10 mbar
5.3.3 样品进样室
(a) 材质:非磁性不锈钢材料
(b) 真空:小于6.7×10-9 mba
5.3.4 深度剖析氩离子枪
100eV–5keV,连续可调,扫描型。
5.3.5 荷电中和系统:双枪中和系统。
5.3.6 样品控制台
(a) 轴向:5轴,
(b) 移动:各向移动距离必须与样品台尺寸相匹配,步进步长小于1μm,
(c) 倾斜:0–90°
5.3.7 计算机系统
(a) Pentium IV,CPU主频3.0GHz左右;
(b) 内存2G, 硬盘250 G;
(c) 2个DVD/CD-RW Combo光盘驱动器,
(d) 22" 液晶平板显示器;
(e) 4个USB2.0接口;
(f) 100M以上以太网接口,用于数据传输;
(g) 预装Windows XP正版软件;
( h ) 预装仪器操作软件和数据分析软件(含**的XPS数据库),附安装软件光盘;
主要特点:
1.世界上****扫描微聚焦X-射线source
2..世界上****扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像,可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。
3。可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上。