技术指标

●适用晶片尺寸 ：  2~8英寸圆片

●工作温度： 600℃～1300℃； 

●可配工艺管数量：1~2管/台

●恒温区长度及精度：≤±0.5℃/300~600mm （800℃～1300℃），

● 单点温度稳定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）； 

●温度斜变能力：**升温速率20℃/min，**降温速率5℃/min；