108Auto是一款结构紧凑的离子溅射仪，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。108auto离子溅射仪的样品室直径为120 mm，样品台的高度可以任意调节，同时还带有高效的直流磁控溅射头和独立的真空控制系统，能充分满足客户的多种需求。

主要特性

• 自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和zui佳的导电喷镀效果。

• 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

• 操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

• 在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

• 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

• 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。

• 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。

• 可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd，，Pt，，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。