规格＆应用：

-8英寸卡盘，低漏泄电流-不超过50fA.

-X/Y轴行程 100 x 100mm，分辨率5um 旋转型.

-Z轴 上下10mm，分辨率 1um.

-显微镜＆CCD摄像机

-针座＆探针支架

-选项：暗箱，防震台，热夹头等.......