规格＆应用：

-半自动探针台＆全测量.

-12英寸低噪音卡盘，陶瓷Pa.

-X，Y转台行程300 x 300mm， 分辨率5um.

-Z转台：上/下移动距离 15mm.

-CCD摄像机：全高清210M像素.

-定位器：微型定位器主体单元PB100，真空底座分辨率1um，行程13mm.

-选项：暗箱；振动台；热夹头；Seebeck效应加热探头 等........