规格＆应用:

-8英寸真空低噪音卡盘.

-X，Y转台：行程200mm x 200mm， 分辨率：5um

-定位器：微型定位器主体单元 PB100.

真空底座分辨率，1um 行程：13mm.

-CCD Camera: 2. 1M Pixel ，30 Fraim

-选项：暗箱；振动台；热夹头；Seebeck效应加热探头 等........