显影设备

应用领域

• 曝光后烘烤 (PEB)

• 显影

• 坚膜

主要优势

三种显影方式集于一体

灵活的喷嘴扫描系统

技术先进，使用便捷

精确的药液控制

特性和规格

兼容8英寸和12英寸晶片

可配至*多四个显影腔体

双面工艺, 每个显影腔体内配有1到5套液体喷嘴

2到8个热盘

2到6个冷却盘