TEBO----用于先进器件的清洗技术

主要优势

智能兆声波技术

使用便捷

精确控制

减少成本、保护环境

特性和规格

*多可配至12套清洗腔体, 产能可达375 片/小时

具有双面清洗能力, *多可配至5种清洗药液，工艺灵活

*多可以回收2种药液

使用高温IPA干燥技术

配备TEBO智能兆声波组件

集成式药液供给模块，可供给DHF，SC1，SC2, 功能水，二氧化碳水等