仪器简介：

软X射线探测器分为AXUV系列，SXUV系列 ，UVG系列 这三个系列，其中AXUV系列适用于真空紫外、极紫外和软X射线探测器。SXUV系列探测器是专门为高通量的光子探测设计的，如配合使用在第三和第四代同步加速器和准分子激光器。该系列二极管由超大规模集成电路制造而成。UVG系列PN结光电探测器可以实现100%的光生载流子收集效率，所以被使用在近紫外和真空紫外（600--160nm）。

技术参数：

AXUV系列

AXUV系列适用于真空紫外、极紫外和软X射线探测器，由于不同于常见的pn结二极管，这些二极管没有掺杂死区，加之零表面复合处理，可以在紫外/极紫外范围内，达到理想化的100%内部量子效率转化。

IRD还提供与Cr，W，Au，Fe，Al等滤光片耦合的探测器，可以达到探测指定波长的效果。

SXUV系列

由于在硅PN结光电二极管前耦合铂硅化物入射窗，使得探测器可以探测超紫外光子（能量范围4ev—12KeV）。这些探测器是专门为高通量的光子探测设计的，如配合使用在第三和第四代同步加速器和准分子激光器。该系列二极管由超大规模集成电路制造而成。

IRD还提供与Zr，Si3N4，Si，SiC，Mo，Al滤光片耦合的探测器，可以达到探测指定波长的效果。

当脉冲能量超过20mJ，IRD还开发了带衰减器的探测器，以减少UV/EUV脉冲射线对探测器的冲击。

UVG系列

UVG系列PN结光电探测器可以实现100%的光生载流子收集效率，所以被使用在近紫外和真空紫外（600--160nm）。与传统的二极管不同的是，这些二极管没有掺杂死区，加之零表面复合处理，可以在紫外/极紫外范围内，达到理想化的100%内部量子效率转化

主要特点：

1.软X射线可直接照射探测器，无需闪烁晶体做转换

2.按可检测X射线能量范围不同及应用的需要，分为AXUV，UVG和SXUV三大产品系列，*低可检测0.04nm的软X射线

3.快速响应的探测器，响应速度达到ps量级

4.多元阵列，积分放大电路，并可根据需要集成带通滤光片

5.四象限位置传感器（Quadrant PSD）