RGA系列残余气体分析仪

可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。

RGA系列残余气体分析仪特点

◇100，200，和300amu ◇优于1amu的分辨率◇6个量级的动态范围◇可检测5 x 10^-14Torr

◇实时RGA Windows和LabVIEW软件◇质谱，泄漏检测和压力对时间方式◇现场可更换的电子倍增器和灯丝◇RS232计算机接口

RGA系列残余气体分析仪选型表

残余气体分析仪（RGA）划分为100、200、300amu三种型号，其优异的性能使其成为真空分析仪中**产品。每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成，实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析，并可进行远程控制。

探测器类型标准法拉第杯(FC)， 可选电子倍增 (EM)分辨率优于0.5amu灵敏度(A/Torr) 2 × 10^?4 (FC)， <200 (EM).探测极限 5 × 10^?11 Torr (FC)， 5 × 10^?14 Torr (EM)测试范围 10^?4 Torr to UHV (FC) 10^?6 Torr to UHV (EM)操作温度 70 °C (max.)工作温度 300 °C (without ECU)