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CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D)

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产地：美国
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PN结漏电流测试Mo-280

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产地：美国
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美国AST椭偏仪

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产地：美国
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WEP,ECV PN结深度测试仪/扩散浓度分布)

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产地：德国
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美国Mactronix硅片倒片机(半导体FAB专用)

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FSM128非接触薄膜应力测试

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扩散炉/LPCVD/diffusion and LPCVD Furnace

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晶圆/硅片划遗线检测/统计Slip Finder

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半导体专用检测仪设备COREMA-WT/VT/ER

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Solarius+3D形貌+轮廓仪

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