美国Janis超高真空型探针台UHV系统

Janis在UHV环境里为电学材料提供了一套完整的探针台系统。既有几款标准配置，也可以根据客户需要专门定制。Janis有40多年的制造UHV的经验，利用这些技术制造UHV探针台。

典型的UHV探针台包括：

金属法兰（CF）密封的不锈钢真空腔

UHV 级电学真空接头和电子探针

UHV 级光学观察窗

可烘烤至120℃

室温或低温配置

样品尺寸直径25-50mm

集成2-8个x-y-z 探针台和探针

温度范围从5-700K

观察样品和探针的单像管、照相机和监视器