装置概述

本臭氧提纯系统采用液氮冷凝提纯方式，臭氧通道全部采用316L不锈钢、石英玻璃等耐腐蚀材料，极大的避免了提纯过程引入其它杂质的可能性。另外，配有智能气压监控、高强度气密室、爆炸防护等特殊设计，提高了操作的便利性和安全性。该装置适用于OMBE、PLD、氧催化系统等需要高纯氧化气氛的系统。

技术参数

**臭氧量：2克供气压力：1.0 X 10 - 7Torr~ 10Tcrr

冷却方式：液氮

供气方式：加热挥发

热偶：K型

供气接口：CF或VCR接头

温控方式：数字PID

通讯接口：LAN