日立科学仪器(北京)有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:日本
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  • 详细介绍:


    专用扫描透射显微镜HD-2700,配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。

    *近,该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪,进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时,该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置,可以以后加配球差校正进行升级。

    特点

    高分辨率扫描透射电子显微镜成像

    • HAADF-STEM图像0.136nm,FFT图像0.105nm(高分辨率镜头(*)
    • HAADF-STEM图像0.144nm(标准镜头)
    • 明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm(w/o球差校正仪)

    高速,高灵敏度能谱分析:探针电流×10倍

    • 元素面分布更迅速及时
    • 低浓度元素检测

    操作简化

    • 自动图像对中功能

    从样品制备到观察分析实现无缝连接

    • 样品杆与日立聚焦离子束系统兼容

    配有各种选购件可执行各种评估和分析操作

    • 同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布(*) 和DF/EELS面分布(*)图像。
    • 低剂量功能(*)(使样品的损伤和污染程度降至*低)
    • 高精度放大校准和测量(*)
    • 实时衍射单元(*)(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)
    • 采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)(*),具有自动倾斜图像获取功能。
    • ELV-3000即时元素面分布系统(*)(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)

    (*) 选购件

      技术指标

      HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜

      项目
      描述
      图像分辨率

      w/o球差校正仪

      保证 0.204nm(当放大倍数为4,000,000时)
      w球差校正仪保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)
      保证 0.136nm(HAADF图像)

      保证0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头(*)

      放大倍数100倍 至 10,000,000倍
      加速电压200 kV, 120 kV (*)
      成像信号明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像)

      暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像)

      二次电子图像(SE图像)

      电子衍射(*)

      特征X射线分析和面分布(能谱分析)(*)

      电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)(*)

      电子光学系统电子源肖特基发射电子源
      冷场致发射器(*)
      照明透镜系统2-段聚光镜镜头
      球差校正仪(*)六极镜头设计
      扫描线圈2-段式电磁感应线圈
      原子序数衬度收集角控制投影镜设计
      电磁图像位移±1 μm
      试片镜台样品移动X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
      样品倾斜单轴-倾斜样品杆:±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头(*)
      真空系统3个离子泵,1个TMP
      极限真空10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)
      图像显示个人电脑/操作系统PC/AT兼容, Windows® XP
      监视器19-inch液晶显示器面板
      图像帧尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
      扫描速度快扫,慢扫(0.5至320秒/帧)
      自动数据显示记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间

      (*) 选购件