日立科学仪器(北京)有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:日本
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  • 详细介绍:


    原子分辨率300 kV透射电子显微镜

    在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。

    为了满足这种高端需求,日立高新技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能,并采用了**的数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。

    用户友好型的操作系统

    • 和Windows®兼容的图形用户界面设计

    • 快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)

    • 高稳定性,高分辨率透射电子显微镜

    高稳定性,高分辨率透射电子显微镜

    • 点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm

    • 稳定可靠的5轴优中心测角台

    • 性能优异,可靠性高

    性能优异,可靠性高

    • 得到市场验证的10级加速器电子枪设计

    • 阻抗式高压电缆设计

    • 高档可选附件

    高档可选附件

    • 通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用

    • 可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆

    备注:FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。

    规格

    项目说明
    分辨率0.10nm(晶格分辨率)

    0.18nm(点分辨率)

    加速电压300kV、200kV*1、100kV*1
    放大倍率连续放大模式1,000~1,500,000×
    选区模式4,000~500,000×
    低倍模式200~500×
    电子枪灯丝LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热)
    灯丝交换自动升降式电子枪
    高压电缆阻抗电缆
    照射系统透镜四级透镜
    聚光镜光阑4孔可变
    探针尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4级)

    纳米束模式:1 - 10 nm(4级)

    电子束倾斜±3°
    成像系统透镜五级透镜
    聚焦图像摇摆调整

    利用像散监视器进行正焦补偿

    聚焦优化

    物镜光阑4孔可变光阑
    选区光阑4孔可变光阑
    电子衍射选区电子衍射

    纳米探针电子衍射

    会聚束电子衍射

    相机长度250 - 3,000 mm
    样品室样品台5轴优中心海帕测角台
    样品尺寸3mmΦ
    样品位置追踪X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm

    通过CPU控制马达驱动

    样品位置显示自动驱动,自动跟踪
    样品倾斜α = ±15°, β = ±15°

    (日立双倾样品台*2)

    防污染冷阱
    烘烤功能中温烘烤功能
    观察室荧光屏主屏:110 mmΦ

    聚焦屏:30 mmΦ

    目镜7.5×
    照相室区域选择整张照相/半张曝光
    胶片25张(2套胶片盒)
    图形用户界面操作系统:Windows XP®
    显示器19英寸显示器
    功能数据库,测量,图像处理
    数码CCD 相机*3相机耦合透镜耦合
    有效像素1,024 × 1,024 像素
    A/D 分辨率12位
    真空系统电子枪离子泵:60 L/s
    镜筒涡轮分子泵:260 L/s
    观察室/照相室扩散泵:280 L/s

    前级泵:135 L/min × 3台

    • *1:放大倍率校准为可选项

    • *2:可选件

    • *3:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机

    以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺