高性能与高灵活性兼备

“Ethos”采用日立高新的核心技术--全球**的高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜，不但可以在低加速电压下实现高分辨观察，还可以在FIB加工时实现实时观察。

SEM镜筒内标配3个探测器，可同时观察到二次电子信号的形貌像以及背散射电子信号的成分衬度像；可非常方便的帮助FIB找寻到纳米尺度的目标物，对其观察以及加工分析。

另外，全新设计的超大样品仓设置了多个附件接口，可安装EDS^*1和EBSD^*2等各种分析仪器。而且NX5000标配超大防振样品台，可全面加工并观察**直径为150mm的样品。

因此，它不仅可以用于半导体器件的检测，而且还可以用于从生物到钢铁磁性材料等各种样品的综合分析。

• *1

• Energy Dispersive x-ray Spectrometer（能谱仪（EDS））

• *2

• Electron Backscatter Diffraction（电子背散射衍射（EBSD））