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PlasmaEtch 等离子开封设备
等离子开封设备PlasmaEtch是一个革命性的气体为基础的半导体蚀刻系统。采用以前从未见过的应用微波气体煽动化学基团为各向同性腐蚀。PlasmaEtch腐蚀大部分样本大小,封装类型和引线键合的类型。无论它是一个传统的金丝样品或者该样品设有铜或银导线,PlasmaEtch都提供了安全可靠的蚀刻。
等离子开封设备是为快速蚀刻模具化合物,聚酰亚胺芯片特别研发的,无需攻击敏感的接线便可将芯片开封。
优点:
1)对铜线、数化铜线及
2) 银线线无伤害
3) 伤害小 (selectivity > 500:1)
4)快速等向性蚀刻
5) 无离子、无辐射
6) 加力聚焦下游等离子体刻蚀
7) 质量流量控制的所有气体
8) 低温蚀刻
9) 各向同性蚀刻
主要特点:
1)可定制的蚀刻配方
2)蚀刻封装类型多种多样
3)优化开封微芯片
4)开封处理程序快速
5) 高刻蚀率及低成本
6) 完全Chemical-free 开盖,符合环保要求
7) 针对银线的**解决办法
8) 移除率约200 μm/小时
(包括无机填充材料移除)
开封后的效果