广州市固润光电科技有限公司
  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:德国
    在线咨询
  • 详细介绍:


    德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000介绍

    过程质谱仪 Versa PS 2000 是为在线透射测定和及时测量生产过程中的光层而设计的。它也可用于其他光学测试,例如:涂覆过程中液体或者反射光的光谱传输测量

    PS 2000的特点

    ·快速精准测量 (测量时间低至10 μs)

    ·快速读取

    ·多种数据接口

    ·由外部位置传感器读出

    ·性能稳定可靠

    Versa PS2000的固件能够预处理测量数据,所以我们的过程光谱仪能够处理计算进程数据,例如反射率和光层厚度Versa PS 2000也可与一个外部光源(卤素灯或者疝气闪光灯)

    应用 数据

    ·在线光谱测试 ·USB (high or full speed)

    ·真空沉积的过程控制 ·LAN

    ·薄膜厚度测试 ·RS 232/ 422/ 485

    ·仪器仪表分析

    ·多通道光谱分析系统

    产品描述

    ·存储的参考参数

    ·数据预处理, 暗信号矫正, **校准

    ·内部计算平均值、插值、传输率、反射率、吸收率、色度坐标等参数

    ·基于DLL的SDK和SCPI(仪器标准指令)可兼容的控制语法

    ·软件和硬件的触发

    规格参数

    光学参数
    光谱范围

    200 nm ... 1000 nm

    光谱仪

    flat field holographic grating, aberration correction

    mirror

    光谱带宽

    ≤ 4.0 nm FWHM (100 μm slit)

    ≤ 2.5 nm FWHM (50 μm slit)

    ≤ 2.0 nm FWHM (30 μm slit)

    不对称因子

    ≥ 0.7

    光输入

    200 mm 光纤带F-SMA 905接头

    波长准确性

    ≤ 0.2 nm (HgAr 线性光)

    波长重复性

    ≤0.02 nm (HgAr 线性光)

    杂散光

    < 0.2 % (ASTM E387, GG495,

    波长 = 420 nm/ 600 nm)

    动力

    取决于探头类型

    探头25 mm BTCCD, CMOS, NMOS*
    电子参数
    数字解析度

    16 bit

    AD噪声

    2 counts RMS

    采样速率

    up to 4 MS/ s

    数据传输率

    up to 40 Mb/ s (via High Speed USB)

    集成时间

    0.01 ... 65535 ms

    触发延迟

    10 μs

    抖动

    ≤2μs

    数据接口

    USB

    Ethernet or RS 422/485

    RS 232

    电源

    110 … 220 V or PoE (if Ethernet is used)

    机械参数
    体积

    25 cm x 25 cm x 15 cm

    重量

    3 kg

    标配清单主机、配套软件、电源线、JETI软件开发包、操作手册

    其他配件可依客户需求订配