广州市固润光电科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:德国
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  • 详细介绍:


    德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000介绍

    过程质谱仪 Versa PS 2000 是为在线透射测定和及时测量生产过程中的光层而设计的。它也可用于其他光学测试,例如:涂覆过程中液体或者反射光的光谱传输测量

    PS 2000的特点

    ·快速精准测量 (测量时间低至10 μs)

    ·快速读取

    ·多种数据接口

    ·由外部位置传感器读出

    ·性能稳定可靠

    Versa PS2000的固件能够预理测量数据,所以我们的过程光谱仪能够处理计算进程数据,例如反射率和光层厚度Versa PS 2000也可与一个外部光源(卤素灯或者疝气闪光灯)

    应用 数据

    ·在线光谱测试 ·USB (high or full speed)

    ·真空沉积的过程控制 ·LAN

    ·薄膜厚度测试 ·RS 232/ 422/ 485

    ·仪器仪表分析

    ·多通道光谱分析系统

    产品描述

    ·存储的参考参数

    ·数据预处理暗信号矫正**校准

    ·内部计算平均值、插值、传输率、反射率、吸收率、色度坐标等参数

    ·基于DLLSDKSCPI(仪器标准指令)可兼容的控制语法

    ·软件和硬件的触发

    规格参数

    光学参数
    光谱范围

    200 nm ... 1000 nm

    光谱仪

    flat field holographic grating, aberration correction

    mirror

    光谱带宽

    4.0 nm FWHM (100 μm slit)

    2.5 nm FWHM (50 μm slit)

    2.0 nm FWHM (30 μm slit)

    不对称因子

    0.7

    光输入

    200 mm 光纤带F-SMA 905接头

    波长准确性

    0.2 nm (HgAr 线性光)

    波长重复性

    0.02 nm (HgAr 线性光)

    杂散光

    < 0.2 % (ASTM E387, GG495,

    波长 = 420 nm/ 600 nm)

    动力

    取决于探头类型

    探头25 mm BTCCD, CMOS, NMOS*
    电子参数
    数字解析度

    16 bit

    AD噪声

    2 counts RMS

    采样速率

    up to 4 MS/ s

    数据传输率

    up to 40 Mb/ s (via High Speed USB)

    集成时间

    0.01 ... 65535 ms

    触发延迟

    10 μs

    抖动

    2μs

    数据接口

    USB

    Ethernet or RS 422/485

    RS 232

    电源

    110 … 220 V or PoE (if Ethernet is used)

    机械参数
    体积

    25 cm x 25 cm x 15 cm

    重量

    3 kg

    标配清单主机、配套软件、电源线、JETI软件开发包、操作手册

    其他配件可依客户需求订配