MaxMile LED 外延片 EL/PL 联合测试系统

4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System

1、外延尺寸(**12” ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"

2、工作台尺寸(W×D×H):18"×18"×14" 18"×18"×14" 32"×32"×68" 57"×32"×68"

3、外延装载功能： manual manual manual/robot robot

4、装载盒数量： n/a n/a 1 up to 3

5、装载盒检测： n/a n/a yes yes

6、外延尺寸检测： n/a n/a yes yes

7、装载盒外延映射： n/a n/a yes yes

8、预对准： n/a n/a yes yes

9、外延片快速映射功能测试：

标准：EL（电致发光），PL（光致发光），EL / PL相结合，IV，反向特性，翘曲。

可选：膜厚测试 ，GaN on Si特征，测试温度控制。*

10、光谱检测范围：从紫外到近红外（默认为200nm—800nm）

11、光谱分辨率：0.5-2 nm，取决于光谱范围选择和系统配置

12、测试项目：

1、电致发光Mapping：

波长--WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波长，半高宽度。

强度—辐射/发光功率，转换效率。

电流—正向电流/电压，导通电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，顶部电阻

正向漏电流，串接电阻，理想因子，等。

2、光致发光：

波长—WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波长，半高宽度。

强度—辐射/发光功率，转换效率。

3、IV特性Mapping：

正向电流/电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，等。

4、其他特性Mapping：

翘曲度

薄膜厚度*

5、测试曲线类型：

特定驱动电流/电压的电致发光光谱

光致发光谱

LIV—电流/发光强度— 电压

输出强度— 驱动电流

波长&半高宽— 驱动电流

反向IV

6、CVD外延布局Mapping:

对于上述所有测试项目，无论mapping还是快速测试均可做布局图

注意：软件可以客制化，可为客户特殊的器件参数做mapping图

13、激发源：EL: Keithley 数字电源;PL:405nm标配，MaxMile配置其他激发源。

14、EpiEL探针类型：Type I， Type IA， Type II， Type IIA， Type IIB， Type IIC， and GaN-on-Si

15、电流测试：>10 -12A

16、控制单元与操作系统:EpiEL内部电脑使用64位微软Windows7/8操作系统

17、采样点/采样步骤：

1、电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由*终用户设置。

2、光致发光采样点可以由*终用户（高分辨率应用于高要求的应用，快速扫描可用于批量生产的质量控制。

3、用户可自定测试点的布局。

18、测试时间：每片外延片测试约0.5-12分钟，这取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置的不同之处; 光致发光选项扫描速度是每秒*多达50点。

19、报告生成与数据展示：HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT

20、Mapping颜色编码:彩虹色，渐变色，二元色，温度，灰色，或任何由*终用户指定的颜色类型。

21、电源：15A/110VAC 或是10A/220VAC（**电压）;机器人系统需要真空。

22、环境条件:温度： 15℃ - 30℃ ，相对湿度：30％ -70％无凝结。

Epi-EL/PL联合测试系统