上海沃埃得贸易有限公司
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    型号:
    产地:德国
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    PHYS TECH GmbH RH2035 霍尔效应测试仪器

    1.设备名称:霍尔效应测试仪
    2.功能描述:测量半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数
    3.技术参数:
    3-1测试范围:Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Type & P Type)等材质的半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数
    3-2磁场:
    3-2-1磁场强度:0.45T 永磁体
    3-2-2磁场类型:永磁体
    3-2-3磁场均匀性:磁场不均匀性<±1 %

    10年内磁场变化<±0.2%

    3-3温 度:
    3-3-1温度区域:77K(液氮温度)或室温
    3-4电阻率范围:1 µ Ohm*cm ~10 M Ohm*cm
    3-5电阻范围:0.1 m Ohms ~10 G Ohms
    3-6载流子浓度:107~1021cm-3
    3-7迁移率:10-2~107 cm2/volt*sec
    3-8输入电流:
    3-8-1电流范围:1000 pA~10mA
    3-8-2电流解析度:2.5 pA (lowest range)
    3-8-3电流精度:2%
    3-9输入电压:
    3-9-1电压范围:±10V
    3-9-2电压分辨率:1μV
    4.仪器特点:
    4-1Automatic contact check

    自动接触检查(欧姆接触)

    4-2Routine and enhanced software

    常规和增强软件

    4-3Differential resistivity measurements by I/V-curves

    I/V曲线测试电阻率差异

    4-4Misalignment voltage compensation

    失调电压补偿

    4-5Correction of slow sample drift voltage, especially for ZnO,

    修正慢样品漂移电压,特别是氧化锌

    4-6Automatic field calibration

    自动现场标定

    4-7Large concentration and resistivity range

    大浓度和电阻率范围

    4-8Flexible, modular hardware

    灵活的模块化硬件

    4-9Support of various magnets, for example BioRad HL 5200

    支持多样磁场

    4-10Support of various temperature controllers

    支持各种温度控制器(支持客户自行升级变温系统)

    5硬件
    5-1The standard system consists of a bench top electronic system, a small magnet and a sample stage for room temperature and LN2 measurements.

    标准系统包含电子测试系统、磁场和两个温度区域的测试平台(室温和液氮温度)

    5-2The electronics include the current source, the voltage measurement part, the contact switching module and the IEEE or RS232 interface. It is completely micro processor controlled.

    电子测试系统包括由单片机控制的电流源、电压测试、接触开关模块、IEEE或RS232接口

    5-3The contact switching module is designed to allow all possible measurement configurations.

    接触开关模块支持所有用户用于其他的配置(用户可以采用制冷机做变温霍尔测试)

    5-4The current source has adjustable limits for voltage and/or power. {+++}

    电流源具有可调电压和/或电源的限制

    5-5Voltage measurement provides different input amplifiers optimized for either low current or low voltage applications.

    电压测量提供了不同的输入放大器或低电流或低电压应用的优化。