先进的 2D合成材料集成系统CVD
该设备的二维材料合成尺度从芯片到晶体,包括石墨烯,h-BN的合成,TMDCs不同衬底上采用气相或固相前驱体和有机金属(钼)。
系统特点:
快速加热和冷却的可移动电机控制的加热器(**)
TCVD100平台:超过5年,全球100套系统的**性能表现
全部制样过程提供现场安装服务