指数指标

• 散射率检测精度 0.1%
• 升降机构重复定位精度：0.02mm
• 旋转机构重复定位精度：<0.05°
• 倾斜机构调整角度：±7.5 °
• 平移机构：分辨率1um
• 工作频率（电子学系统参数）：1000Hz
• 动态范围（电子学系统参数）：80dB
• 品质因数（电子学系统参数）：Q>50
• A/D（电子学系统参数）：16bit