Ppb量级水平的检测限。

无基体效应。

宽广的测量浓度范围。

高稳定性和重复性。拥有了这些和其他分析的优势，ICP光谱仪可广泛应用。它们的应用范围包括质量控制成分分析，超痕量成分确定，包括环境水质量监督以及主要成分确认，包括成分确定等。