高真空的扫描电镜，聚焦离子束FIB系统，由于样品，操作，油污，FIB的气体注入系统带来的碳氢污染物会累积在样品室表面，以及探测器包括EDX窗口，进而影响系统分辨率，清晰度，真空度以及稳定性。

Evactron等离子清洗机适用于任何扫描电镜，她可以很好的解决这些困扰电镜使用者的污染问题.